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精密洗凈技術(shù)
精密洗凈技術(shù)
為應對不斷提升的半導體制程要求,依托美國、日本等技術(shù)支持,成功完成陶瓷溶射工藝的研發(fā)并量產(chǎn),擁有國際先進(jìn)的洗凈生產(chǎn)線(xiàn),努力搶占半導體、TFT產(chǎn)業(yè)技術(shù)制高點(diǎn)。
技術(shù)發(fā)展路線(xiàn) 技術(shù)設備能力 生產(chǎn)工藝 實(shí)用新型國家專(zhuān)利
  • 2000

    表面處理事業(yè)部成立

  • 2001

    成功研發(fā)并量產(chǎn)350nm線(xiàn)寬半導體PVD、CVD制程部品洗凈工藝并著(zhù)手研發(fā)半導體ETC部門(mén)部品洗凈工藝

  • 2003

    成功研發(fā)并量產(chǎn)250nm線(xiàn)寬半導體PVD、CVD、ETC制程部品洗凈工藝;建立獨立實(shí)驗室,研發(fā)半導體更精進(jìn)洗凈工藝

    著(zhù)手研發(fā)DIF、LIT部門(mén)制程部品洗凈工藝

  • 2005

    開(kāi)始涉足TFT部品洗凈,成功完成半導體各部門(mén)機臺部品洗凈工藝并標準化

  • 2007

    為多家半導體及TFT廠(chǎng)提供部品清洗服,完善TFT制程部品洗凈工藝

  • 2011

    成立第一家子公司-----天津富樂(lè )德科技發(fā)展有限公司

  • 2013

    成功量產(chǎn)45nm線(xiàn)寬半導體制程部品洗凈技術(shù),成功量產(chǎn)8.5代線(xiàn)TFT部品清洗技術(shù)

  • 2015

    成立第二家子公司----四川富樂(lè )德科技發(fā)展有限公司,成功研發(fā)并量產(chǎn)28nm線(xiàn)寬半導體制程部品洗凈技術(shù)

  • 2017

    第三家子公司----富樂(lè )德科技發(fā)展(大連)有限公司正式投入生產(chǎn),研發(fā)并量產(chǎn)10.5代LCD部品洗凈工藝;完善陶瓷溶射工藝并實(shí)現量產(chǎn)

    著(zhù)手研發(fā)6代OLED制程部品洗凈工藝,著(zhù)手研發(fā)半導體16nm制程部品洗凈工藝

  • 2018

    富樂(lè )德(大連)建立大連工廠(chǎng)表面處理分析實(shí)驗室雛形,投入超聲波斷層掃描顯微鏡,CMM,He detector,電位滴定儀,LPC及ICP MS等高科技設

    并建立高純石英線(xiàn),高端設備上線(xiàn)