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單晶爐
Thermoelectric semiconductor cooler
單晶爐

Ferrotec(中國)單晶爐

在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將保存在石英坩堝內的多晶硅等多晶材料高溫熔化,再將籽晶放入變成液體的硅溶液里按自動(dòng)程序用直拉法生長(cháng)無(wú)錯位單晶的設備, 可控制整體裝料量,全自動(dòng)控制拉晶過(guò)程, 全面數字化管理,采用中央集中控制系統,減少了人為因素的參與,保證質(zhì)量穩定性。
單晶爐分類(lèi)
Ferrotec(中國)自主研發(fā)的半導體用單晶爐,采用龍門(mén)式框架結構,穩定性好剛性強,驅動(dòng)裝置采用電動(dòng)、氣動(dòng)方式,光軸潤滑采用自潤滑軸承,避免油脂污染,全自動(dòng)控制拉晶過(guò)程,嵌入長(cháng)晶控制系統,整合功率器件用超低電阻率單晶量產(chǎn)技術(shù),采用超導體磁場(chǎng),可拉制8/12英寸晶棒。 不同型號的單晶爐在設備運作效率、機械部件結構等方面各有差異。
太陽(yáng)能級單晶爐FT-CZ1200PV
太陽(yáng)能級單晶爐FT-CZ1200PV
硅材料級單晶爐FT-CZ1200Si/1400Si
硅材料級單晶爐FT-CZ1200Si/1400Si
半導體級單晶爐FT-CZ1200SE/1400SE
半導體級單晶爐FT-CZ1200SE/1400SE
人性化設計
人性化設計
管理、操作及維護方便性
管理、操作及維護方便性
全自動(dòng)、安全性、均一性
全自動(dòng)、安全性、均一性
穩定、潔凈
穩定、潔凈
Ferrotec單晶爐優(yōu)點(diǎn)
穩定、潔凈;全自動(dòng)、安全性、均一性;管理、操作及維護方便性;人性化設計。焊接工藝符合日本JIS標準,柔性設計具備雙重防爆安全系數,特別增加安全泄壓閥及提升防爆系統;遠程控制插口可實(shí)現對多臺設備的集中監控和管理;各操作參數及制程階段人機界面觸摸屏可實(shí)時(shí)顯示并修改。
聯(lián)系電話(huà): 021-36160062
Matrix diagram of applications in various fields
各領(lǐng)域的應用之矩陣圖
該產(chǎn)品的生產(chǎn)基地